又名平行光曝光灯，功率范围从1KW到12KW不等。灯管内主要成份为汞和氙气，能产生超强紫外线，主要峰值范围在365nm，具有极距短、弧光短的特点。灯管发光点位于阴极尖端附近，所产生的极亮光斑，经光学系统转换后形成纯紫外平行光线，能显著提高曝光质量。
短弧汞氙灯电气特性：
灯管的工作电流一般很大，电压范围则比较宽，一般为额定值的+/-10%。部分 设备电源的电流输出为恒定值，在使用灯管的过程中，电流维持不变，电压则由于电极头的耗损而上升，因此总功率也会上升，但不会超过额定功率的110%。也有部分设备的电源为功率恒定，电流会随着电压的上升自动降低，以保证功率不变。